真空爐分為外熱式和內熱式，內熱式真空熱處理爐的結構內熱式真空熱處理爐是將整個加熱裝置及欲處理的工件均放在真空容器內，沒有爐罐，整個爐殼就是一個真空容器。爐中安設電熱元件、隔熱屏、爐床、風扇、傳送機構和其他構件等。通過電熱元件的熱輻射或充入氣體氣流循環加熱工件，爐殼多采用雙層水冷式設計，因而也可稱作冷壁式真空爐。電熱元件多位于加熱室中部，圍繞工件有效加熱區設計安置，外部是金屬輻射屏或非金屬隔熱屏結構，爐床安裝在加熱室下部，風扇結構所安設在冷卻室，也有安設于加熱室的一端，上部或下部，并且和熱交換器裝置組成強制氣流循環的加熱和冷卻系統。傳遞機構多設在冷卻室，有些和爐外料筐支架相連，根據用途和某些特殊要求采取不同型式結構。加熱電極通過爐殼引入，設計時要考慮加熱電極的水冷和密封結構，以保證其良好的工作特性。典型的內熱式真空熱處理爐的結構示意圖下圖所示。目前內熱式真空熱處理爐形式多樣，按其外形及結構可分為立式、臥式、單室、雙室和三室。工作冷卻方式分為自冷、負壓氣冷、負壓油冷和加壓氣冷（2x10³pa）、高壓氣冷（2x10?pa）及超高壓氣冷（20x10?pa）等爐型。按照熱處理工藝科分為淬火爐和回火爐。有單功能的，也有多功能的。
優點：
1、可以制造大型高溫爐，而不受爐罐限制；
2、加熱和冷卻速度快，生產效率高；
3、因不采用耐熱爐罐，溫度范圍廣，最高加熱溫度可達到2200℃或更高；
4.易于實現全過程的自動化，工作中無污染，環境好，操作安全；
5、爐子熱慣性小，加熱和冷卻工序循環短，熱效率高，生產效率也高；
6、爐溫均勻性好，可達±5℃，工件加熱均勻，變形微小，產品質量好；
7、加熱期間不需要保護氣氛，除非為防止金屬揮發或在低溫區提高加熱速度和爐溫均勻性通入的氣體外，一般充入氣體多采用N?，Ar或Ne氣等。
缺點：
1、內熱式真空爐內結構復雜，爐子造價高，電氣絕緣性要求高；
2、與外熱式真空爐相比，爐內容積大，各種構件表面吸附大量氣體，需配大功率抽氣系統；
3、考慮真空放電和電氣絕緣性，要低電壓大電流供電，需配套系統。
